設(shè)備名稱

顯影機(jī)

用途

可用于去膠、顯影等黃光區(qū)操作

操作方式

手動(dòng)/半自動(dòng)/自動(dòng)

適用領(lǐng)域

半導(dǎo)體、LED芯片、MEMS等

適用工藝

勻膠、顯影、去膠

顯影方式

槽式

適用尺寸

2吋--12吋晶圓

藥液供給

手動(dòng)或自動(dòng)供給

主體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVC

槽體材質(zhì)

不銹鋼、PP、PVDF

溫控精度

±1℃

安全防護(hù)

自動(dòng)安全門(mén)、漏液報(bào)警、漏電保護(hù)、液位保護(hù)、急停、聲光報(bào)警系統(tǒng)

模塊化設(shè)計(jì)

滿足客戶多種工藝及產(chǎn)能的定制化要求

可編程菜單，方便用戶操作，直觀

實(shí)時(shí)流程顯示，可控性強(qiáng)

多級(jí)密碼，方便管理，安全可靠

自動(dòng)保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)

可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制

可實(shí)現(xiàn)功能

藥液管理系統(tǒng)（自動(dòng)供液、自動(dòng)補(bǔ)液、循環(huán)過(guò)濾）、機(jī)械拋動(dòng)、恒溫系統(tǒng)、自動(dòng)滅火等